| 摘要 |
提供一种能够对电子构件的微细部分迅速且正确地进行检查的良好的电子构件检查装置。该电子构件检查装置具备：摄像单元(40)，其通过X方向定位单元(46)相对于载置电子构件的移动载物台面进行定位；以及资讯处理单元，其根据由上述摄像单元(40)得到的图像资料来检查摄像单元所拍摄部位的好坏，上述摄像单元(40)具备：主体部(41)，其安装固定于上述X方向定位单元(46)；以及显微镜部(42)，其以朝向上述移动载物台面进退自由的方式安装于该主体部(41)，在上述显微镜部(42)中内置有物镜(43)，在上述主体部(41)中设置有：Z轴调整单元(49)，其使显微镜部(42)进退来进行对焦；以及行扫描照相机(51)，其取入由上述显微镜部(42)得到的放大图像并输出到上述资讯处理单元。 |
