工艺控制的方法及系统

摘要

本发明公开了一种工艺控制的方法及系统。其中方法包括如下步骤：在预设稳定时间内，循环检测需要达到稳定状态的各工艺参数，得到检测结果；根据所述检测结果，当所检测的各工艺参数全部达到相对应的预设稳定状态时，控制结束当前工艺步骤，否则，超过所述预设稳定时间，发出不稳定报警。其根据工艺步骤的实际进展情况控制工艺步骤结束，而不用预先设置较长的工艺加工时间，缩短半导体工艺加工时间，提高整体生产效率。同时也避免了设定固定结束时间在某些特殊情况下造成进入下一工艺步骤时工艺参数不稳定的情况，工艺结束控制更加精确。

主权项

一种工艺控制的方法，其特征在于，包括以下步骤：在预设稳定时间内，循环检测需要达到稳定状态的各工艺参数，得到检测结果；根据所述检测结果，当所检测的各工艺参数全部达到相对应的预设稳定状态时，控制结束当前工艺步骤，否则，超过所述预设稳定时间，发出不稳定报警。