具有自适应弯曲控制的研磨设备或载具

摘要

本申请公开了具有自适应弯曲控制的研磨设备或载具。本发明公开了一种用于研磨装置的自适应弯曲结构或插件。在所示的实施例中上述弯曲结构在弯曲节点之间提供了一更宽的控制宽度用于对研磨工件施加弯曲力，或者提供一更长的梁长度以在上述弯曲结构的外端部增加输入行程。在所示的实施例中，上述弯曲结构的外部弯曲手指具有比内部弯曲手指更宽的宽度，用于提供更宽的自适应弯曲结构的控制宽度。上述弯曲结构的较宽的弯曲手指连接到一致动器模块的致动器手指以适应上述致动器模块，从而提供一增加的控制宽度用于在研磨过程中控制工件的弯曲度和曲率。

主权项

一种对用于研磨的工件施加弯曲力的弯曲结构，包括：多个沿着所述弯曲结构宽度延伸的弯曲手指，其中每个弯曲手指可连接到一个致动器致动器元件以沿着上述弯曲结构对一工件平台施加弯曲力，同时，上述多个弯曲手指包括至少一个弯曲手指，其具有与一个或多个其它的弯曲手指不同的宽度尺寸。