发明名称 制造垂直型高功率氮化镓PIN二极管的方法
摘要 本发明提供一种制造垂直型高功率氮化镓PIN二极管的方法,其包含以下步骤:提供半导体积层或异质基板;以及在该半导体积层或该异质基板上形成平台。与一般Si和GaAs材料相比,宽能隙具材料(三氮化合物)有较佳的电子特性,因而操作稳定性和对温度的灵敏度低;非常具有适用于高功率电子的应用。本发明开发出垂直式氮化镓高功率元件提供反向击穿电压超过600V以上、较低的导通电组5-mΩ-cm<sup>2</sup>一下和顺向电流高达3-A/mm<sup>2</sup>。
申请公布号 CN104952728A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201410116140.5 申请日期 2014.03.26
申请人 郑克勇 发明人 黄智方;张庭辅;刘格成;曾裕誊;邱绍谚
分类号 H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L21/329(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 张德斌
主权项 一种制造垂直型高功率氮化镓PIN二极管的方法,其包含以下步骤:提供半导体积层或异质基板;以及在该半导体积层或该异质基板上形成平台。
地址 中国台湾新竹市