发明名称 | 蓝宝石抛光液的制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种蓝宝石抛光液的制备方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:(1)以平均粒径在100~300nm范围内的α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>纳米晶体作为晶种均匀分散在铝盐水溶液中作为前驱体溶液;(2)将前驱体液体通过喷雾干燥工艺制成含有α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>纳米晶体晶种的球形粉体作为前驱体;(3)将前驱体在温度范围控制在900~1200℃的条件下进行烧结,获得α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>粉体;(4)将α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>粉体分散到水中,并调整pH值和二次颗粒的大小,即得到蓝宝石抛光液。该方法所得蓝宝石抛光液平均粒度小、粒度分布窄,水分散性良好,工艺参数范围宽且可调,大大提高了蓝宝石抛光的效率及精度。 | ||
申请公布号 | CN103881586B | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
申请号 | CN201410158996.9 | 申请日期 | 2014.04.18 |
申请人 | 苏州纳迪微电子有限公司 | 发明人 | 王宇湖;张秀丽;刘亚;何晓敏;沈从九 |
分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 范晴;夏振 |
主权项 | 一种蓝宝石抛光液的制备方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:(1)以平均粒径在100~300nm范围内的α‑Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>纳米晶体作为晶种均匀分散在含有水溶性铝化合物的水溶液中作为前驱体溶液;(2)将前驱体液体通过喷雾干燥工艺制成含有α‑Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>纳米晶体晶种的球形粉体作为前驱体;(3)将前驱体在温度范围控制在900~1200℃的条件下进行烧结,获得α‑Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>粉体;(4)将α‑Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>粉体分散到水中,并调整pH值和二次颗粒的大小,即得到蓝宝石抛光液。 | ||
地址 | 215129 江苏省苏州市新区湘江路1433号 |