一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池

摘要

本申请公开了一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池，所述方法包括：提供一衬底，在所述衬底的两侧设置本征层，形成异质结太阳能电池的第一结构；通过等离子体对所述第一结构中的所述本征层界面去氧化处理，并在处理后的所述第一结构的两侧分别设置掺杂层，形成第二结构；在所述第二结构的两侧分别形成透明导电层，作为前电极和后电极；或者在所述第二结构的一侧形成透明导电层作为前电极，另一侧形成透明导电氧化物与金属复合层作为复合背电极；进而提高异质结太阳能电池的光电转换效率。

主权项

一种异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：提供一衬底，在所述衬底的两侧设置本征层，形成异质结太阳能电池的第一结构；通过等离子体对所述第一结构中的所述本征层界面去氧化处理，并在处理后的所述第一结构的两侧分别设置掺杂层，形成第二结构；在所述第二结构的两侧分别形成透明导电层，作为前电极和后电极；或者在所述第二结构的一侧形成透明导电层作为前电极，另一侧形成透明导电氧化物与金属复合层作为复合背电极。