低温泵及其制造方法

摘要

本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及用于制造这种低温泵的方法。低温泵（10）具备：多个低温吸着板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸着板（50）中的至少1个的板前表面被区分成用于非冷凝性气体的吸附区域（76）和用于冷凝性气体的冷凝区域（82）。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，包含用于提供第1冷却温度的第1冷却台及用于提供低于该第1冷却温度且在非冷凝性气体的吸附中使用的第2冷却温度的第2冷却台；放射护罩，包含形成接收气体的开口的护罩前端，该放射护罩热连接于第1冷却台并包围第2冷却台；及低温板组件，热连接于第2冷却台，在其外缘与放射护罩之间形成朝向所述开口的开放空间，能够从护罩前端观察低温板组件的至少一部分，低温板组件包含朝向所述开口的顶板及中间板，所述中间板包含朝向所述开口的板前表面且相对顶板配设在与所述开口相反的一侧，与中间板的板前表面对置的邻接的低温板的外周部和与该外周部对置的所述板前表面的部分在所述开放空间内向放射护罩平行延伸，并在与中间板的板前表面对置的邻接的低温板和该板前表面之间形成有开放部分，该开放部分的外周侧为与所述开放空间连续的气体的入口，该板前表面被区分为用于非冷凝性气体的吸附区域和用于冷凝性气体的冷凝区域，所述吸附区域形成在包围所述开放部分的表面上。