一种用于测量真空灭弧室真空度的容性耦合传感器

摘要

本实用新型属于传感器技术领域，特别涉及一种用于测量真空灭弧室真空度的容性耦合传感器。本实用新型包括感应电极、高压电容器、信号抽取与调理电路以及信号线。各模块之间的连接关系为：感应电极与高压电容器的一端连接，信号抽取与调理电路的输入端与高压电容器的另一端连接，信号抽取与调理电路的输出端与信号线连接。感应电极感应真空灭弧室周围的电场信号，并将该信号传至高压电容器，高压电容器再将信号传至信号抽取与调理电路，处理后的信号通过信号线传至计算机端。本实用新型能够用于真空灭弧室的真空度的在线监测，经济实用。

主权项

一种用于测量真空灭弧室真空度的容性耦合传感器，其特征在于：包括感应电极、高压电容器、信号抽取与调理电路以及信号线；   各模块之间的连接关系为：   感应电极与高压电容器的一端连接，信号抽取与调理电路的输入端与高压电容器的另一端连接，信号抽取与调理电路的输出端与信号线连接；感应电极感应真空灭弧室周围的电场信号，并将该信号传至高压电容器，高压电容器再将信号传至信号抽取与调理电路，处理后的信号通过信号线传至计算机端。