| 发明名称 | 一种电流辅助的掺铝氧化锌薄膜化学制绒方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电流辅助的掺铝氧化锌薄膜化学制绒方法，该方法通过在掺铝氧化锌薄膜传统化学制绒的同时加以辅助电流，大大提高了掺铝氧化锌薄膜绒面的粗糙度，增强了掺铝氧化锌薄膜的光散射特性，适合于薄膜太阳能电池的制作，可以提高太阳能电池的陷光能力及光电转换效率。本发明制作方法简单易行，适于大面积生产。 | ||
| 申请公布号 | CN104952947A | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
| 申请号 | CN201510245558.0 | 申请日期 | 2015.05.14 |
| 申请人 | 陕西师范大学 | 发明人 | 高斐;李付贤;王皓石;周松杰;武怡;郑逍遥;武慧君;刘生忠 |
| 分类号 | H01L31/0236(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/0236(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人 | 高雪霞 |
| 主权项 | 一种电流辅助的掺铝氧化锌薄膜化学制绒方法，其特征在于它由下述步骤组成：(1)采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积掺铝氧化锌薄膜；(2)在沉积的掺铝氧化锌薄膜两端固定电极，将掺铝氧化锌薄膜的中间部分浸入乙酸铵水溶液中，在电极两端加10～200mA电流进行制绒，制绒时间为2～20分钟，得到绒面掺铝氧化锌薄膜。 | ||
| 地址 | 710062 陕西省西安市长安南路199号 | ||