发明名称 光束分析仪、激光振荡器以及激光加工装置
摘要 提供能够以更低的成本来判断是否适当地输出了激光的光束分析仪、激光振荡器以及激光加工装置。光束分析仪具备部分反射镜(24)、受光部(30、28、26)以及分别安装于该受光部(26、28、30)的激光强度传感器(50、52、54)。受光部(30、28、26)具有:第一受光部(30),其接收激光(22’)的激光照射区域(22a’)中的包括激光(22’)的光轴(O<sub>1</sub>)的第一区域(22b)的光;以及第二受光部(28),其与第一受光部(30)热绝缘,接收激光照射区域(22a’)的与第一区域(22b)不同的第二区域(22c)的光。
申请公布号 CN104942429A 申请公布日期 2015.09.30
申请号 CN201510136956.9 申请日期 2015.03.26
申请人 发那科株式会社 发明人 和泉贵士
分类号 B23K26/00(2014.01)I;H01S3/134(2006.01)I 主分类号 B23K26/00(2014.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇
主权项 一种光束分析仪,测量激光的强度分布,该光束分析仪具备:部分反射镜;多个受光部,该多个受光部接收透过了上述部分反射镜的激光;以及多个激光强度传感器,该多个激光强度传感器分别安装于上述多个受光部,感知由该受光部接收到的上述激光的强度,其中,上述多个受光部至少具有:第一受光部,其接收上述激光的激光照射区域中的包括上述激光的中心部的第一区域的光;以及第二受光部,其与上述第一受光部热绝缘,接收上述激光照射区域的与上述第一区域不同的第二区域的光。
地址 日本山梨县