温度補償能力を調整できる圧電音響共振器

摘要

温度補償能力を調整できる圧電音響共振器である。前記圧電音響共振器は、圧電音響反射構造、第１電極、第２電極、第１電極と第２電極の間に位置する圧電層、及び温度補償層を含み、前記温度補償層はＳｉｘＯｙ材料からなる単層温度補償層を用い、或いは、正の音速温度係数材料と負の音速温度係数材料から積層してなる複合温度補償層を用い、前記温度補償層は、前記圧電音響共振器における第１電極、圧電層及び第２電極による温度周波数シフトを逆補償するように設置され、ｘ：ｙは１：２に等しくない。【選択図】図１