发明名称 METHOD FOR PROTECTION OF SURFACE OF MATERIAL TO BE PROCESSED AND TEMPORARY FIXING METHOD
摘要 <p>다이싱 등의 가공을 실시해도 보호막이 탈락하지 않는 표면 보호 방법을 제공한다. (A) 다관능 (메타)아크릴레이트, (B) 단관능 (메타)아크릴레이트 및 (C) 광중합 개시제를 함유하는 경화성 조성물로부터 형성되는 경화체로 이루어진 보호막을 피가공재의 표면에 적층하는 적층 공정과, 적층 공정 후에 80~150℃로 가열 처리하는 가열 공정과, 가열 공정 후에 피가공재를 가공하는 가공 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 피가공재의 표면에 보호막을 적층하는 피가공재의 표면 보호 방법. 또, 상기 보호막은 (D) 시클로펜타디엔 골격을 가지는 수지를 함유하는 것이 바람직하다.</p>
申请公布号 KR101555729(B1) 申请公布日期 2015.09.25
申请号 KR20107023157 申请日期 2009.05.11
申请人 发明人
分类号 B24B1/00;B32B27/30;B32B37/00;H01L21/301 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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