| 摘要 |
Bereitgestellt wird eine mehrlagige Dünnschicht für ein Schneidwerkzeug, bei der Dünnschichteinheiten, die jeweils aus insgesamt vier Dünnschichten bestehen, mehr als einmal gestapelt werden, wobei die mehrlagige Dünnschicht dazu in der Lage ist, durch Anpassen einer elastischen Periode und einer Gitterperiode zwischen den vier Dünnschichten im Vergleich zu konventionellen Dünnschichten bessere physikalische Eigenschaften zu realisieren. Die mehrlagige Dünnschicht für ein Schneidwerkzeug gemäß der vorliegenden Offenlegungsschrift ist eine mehrlagige Dünnschicht für ein Schneidwerkzeug, bei der Dünnschichteinheiten, die jeweils aus den sequentiell gestapelten Dünnschichten A, B, C, und D bestehen, mehr als einmal übereinander gestapelt werden, wobei der Elastizitätsmodul k der Dünnschichten die Verhältnisse kA, kC > kB, kD oder kB, kD > kC, kA erfüllt, und der Gitterparameter L der Dünnschichten die Verhältnisse LA > LB, LD > LC oder LC > LB, LD > LA erfüllt. |
