| 摘要 |
【課題】精度を落とすことなく短い時間で被検物の外観を検査する装置、およびこの装置を含む検査システムを提供する。【解決手段】被検物が反射する光がなす反射光像によって被検物の外観を検査する外観検査装置は、被検物の被観察面の反対側に位置し、被検物に向けて光を出射する光源部と、被検物の被観察面側に位置し、光源部から出射された光を被観察面に向けて反射させるとともに、被観察面で反射された光を透過させるハーフミラーと、光源部と被検物との間に配置され、光源部から出射された光のうち、被検物に直接照射される方向に出射された光をすべて遮る遮光体とを備え、光源部は反射光像をなす光の唯一の光源であって、出射した光で前記ハーフミラーの被検物に対向する面を略一様の照度で照射し、ハーフミラーは、光源部から出射された光を被観察面に向けて反射する領域内に穴および隙間を有しない。【選択図】図２ |
