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<p>실시 예에 의하면, 실리콘 용융액을 수용하는 도가니 및 도가니를 가열하는 히터를 포함하는 단결정 실리콘 잉곳 제조 장치에서 수행되는 단결정 실리콘 잉곳 제조 방법은, 고체 상태의 다결정 폴리 실리콘을 도가니에 투입하는 단계와, 다결정 폴리 실리콘을 투입한 후 일정 기간이 경과되면, 광을 도가니로 주사하여 용융되지 않은 다결정 폴리 실리콘을 인식하는 단계와, 소정 기간 동안 다결정 폴리 실리콘을 인식한 횟수를 카운팅하는 단계와, 카운팅된 결과가 소정 횟수 이상이면 히터의 파워를 증가시키는 단계와, 카운팅된 결과가 임계 횟수보다 크고 소정 횟수보다 적으면 히터의 파워를 감소시키는 단계 및 카운팅된 결과가 임계 횟수 이하이면 다결정 폴리 실리콘을 용융시키는 용융 공정을 종료시키는 단계를 포함한다.</p> |
