大行程三维纳米柔性运动平台

摘要

本发明公开了一种大行程三维纳米柔性运动平台。所述大行程三维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，第一Z向柔性解耦件的一端和第二Z向柔性解耦件的一端与终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与基座相连且上端通过第一上柔性铰链与第一Z向柔性解耦件相连，第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与基座相连且上端通过第二上柔性铰链与第二Z向柔性解耦件相连，X向驱动器与第一放大杆相连，Y向驱动器与第二放大杆相连。所述大行程三维纳米柔性运动平台具有平面尺寸小、运动精度高等优点，兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。

主权项

一种大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台在Z向上位于所述基座的上方，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，所述第一Z向柔性解耦件和所述第二Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第一Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第二Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，所述第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与所述基座相连，所述第一放大杆的上端通过第一上柔性铰链与所述第一Z向柔性解耦件相连，所述第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与所述基座相连，所述第二放大杆的上端通过第二上柔性铰链与所述第二Z向柔性解耦件相连，其中所述X向驱动器与所述第一放大杆相连，所述Y向驱动器与所述第二放大杆相连。