一种位移测量方法及系统

摘要

本发明提供了一种位移测量方法，该方法包括：在第一部件上进行编码，所述编码可对照射到所述编码上的光线衍射，形成衍射条纹；设定所述编码的码值与所述绝对位置的对应关系；当所述第一部件上的编码接收到光线照射时，扫描经所述第一部件上的编码衍射后的光线，得到第一信号；对所述第一信号进行解码，得到所述第一部件当前的绝对位置；分析所述第一部件的绝对位置的变化，得到所述第一部件的位移。通过光线实现位移的测量，测量精度更高，位移测量效果更好。

主权项

一种位移测量方法，其特征在于，该方法包括：在第一部件上进行编码，所述编码可对照射到所述编码上的光线衍射，形成衍射条纹；设定所述编码的码值与所述绝对位置的对应关系；当所述第一部件上的编码接收到光线照射时，扫描经所述第一部件上的编码衍射后的光线，得到第一信号；对所述第一信号进行解码，得到所述第一部件当前的绝对位置；分析所述第一部件的绝对位置的变化，得到所述第一部件的位移。