正交偏振激光回馈干涉仪

摘要

本发明提供一种正交偏振激光回馈干涉仪，包括：一正交偏振激光模组输出同向且在空间上重合的两束正交偏振的激光；一分光镜将正交偏振激光模组输出的激光分为反射光及透射光；一偏振分光镜将分光镜出射的反射光分为平行偏振光及垂直偏振光；一光电探测模组将光信号转换为电信号；一声光移频模组透射光进行移频；一光阑透射经过声光移频模组移频的激光；一半波片设置于从光阑出射的激光的光路上；一偏振耦合透镜将半波片出射的激光耦合进一第一保偏光纤；一光纤偏振分束器将激光分为第一线偏振光及第二线偏振光；一第二保偏光纤将第一线偏振光反射，形成参考光路；以及一第三保偏光纤输出激光照射待测物体形成测量光路。

主权项

一种正交偏振激光回馈干涉仪，包括：一正交偏振激光模组，用于输出激光；一分光镜，设置于从所述正交偏振激光模组输出激光的光路上，且所述分光镜与所述正交偏振激光模组间隔设置，将正交偏振激光模组输出的激光分为反射光及透射光；其特征在于，所述正交偏振激光模组输出同向且在空间上重合的两束正交偏振的激光；所述正交偏振激光回馈仪进一步包括：一偏振分光镜，设置于从分光镜出射的反射光的光路上，将分光镜出射的反射光分为两束振动方向为正交的偏振光；一光电探测模组，设置于所述偏振分光镜输出的激光的光路上，并将接收到的光强信号转换为电信号；一声光移频模组，设置于从分光镜出射的透射光的光路上，并对透射光进行移频；一光阑，设置于从所述声光移频模组出射的激光的光路上，阻隔未经移频的激光，并透射经过声光移频模组移频的激光；一第一半波片，设置于从光阑出射的激光的光路上；一偏振耦合透镜，设置于从第一半波片出射的激光的光路上，并将第一半波片出射的激光耦合进一第一保偏光纤；一光纤偏振分束器，与所述第一保偏光纤相连，以接收第一保偏光纤输入的激光，并按照激光的偏振态不同分为第一线偏振光及第二线偏振光；一第二保偏光纤，与所述光纤偏振分束器相连，以传输第一线偏振光，并将第一线偏振光反射，使第一线偏振光按原光路返回，形成参考光路；以及一第三保偏光纤，与所述光纤偏振分束器相连，以传输第二线偏振光，使出射的第二线偏振光照射在待测物体表面，经待测物体反射后原路返回，形成测量光路，以监测待测物体的位移。