流体喷射器的防潮

摘要

流体喷射装置包括：基板，其具有多个用于流体流动的流体通路和多个喷嘴，所述多个喷嘴与所述流体通路流体连接；多个致动器，所述多个致动器位于所述基板上面，使所述多个流体通路中的流体从所述多个喷嘴喷射；和保护层，所述保护层形成于所述多个致动器的至少一部分上，并且所述保护层对湿气的内渗透率低于2.5x10^-3g/m·天。

主权项

一种流体喷射装置，其包括：基板，所述基板具有多个用于流体流动的流体通路和多个喷嘴，其中所述流体通路各自包括泵送室，并且所述喷嘴与所述流体通路的所述泵送室流体连接；多个致动器，所述多个致动器位于所述基板上面，使所述多个流体通路的泵送室中的流体从所述多个喷嘴喷射，所述多个致动器包括导电迹线、电极和压电层；内保护层，所述内保护层由SU‑8形成，位于导电迹线之上、导电迹线之下以及彼此相邻的导电迹线之间；和外保护层，所述外保护层仅形成于所述泵送室和所述多个致动器上，但不覆盖所述导电迹线，并且所述外保护层对湿气的内渗透率低于所述内保护层对湿气的内渗透率。