一种漏晶检测装置及其检测方法

摘要

本发明使用数字负压表检测流量传感器的输出端的电信号，根据晶片被吸取所需要的真空吸力设置一个对照值，通过比对该电信号值与对照值来判断吸嘴是否有晶片，其检测时间从吸嘴吸取到晶片的瞬间到取晶臂运动到固晶位置后再次回到原点位置的瞬间，是一种时间段的检测，单片机模块对这段时间内数字负压表输出端电平的变化做出判断，给出取晶移晶是否成功的信号，其检测并不局限在某个固定位置、某个固定时间点进行，也不存在受光线、晶体透明度影响的问题，能解决现有漏晶检测装置检测精度低的问题。

主权项

一种漏晶检测装置，其特征在于：由数字负压表和单片机模块组成；所述数字负压表的输入端与外部取晶固晶装置中流量传感器(4)的输出端连接；所述外部取晶固晶装置由吸嘴(1)、取晶臂(2)、真空管(3)、流量传感(4)及真空发生器(5)组成，所述吸嘴(1)安装于所述取晶臂(2)的一端，所述取晶臂(2)的另一端与外部取晶臂转轴连接，所述真空管(3)位于取晶臂(2)上方，一端连通吸嘴(1)，另一端连通真空发生器(5)，所述流量传感器(4)安装于真空管(3)内，连通于吸嘴(1)和真空发生器(5)；数字负压表的输出端与单片机模块的输入端连接，单片机模块的输出端与外部取晶固晶装置的报警电路的控制端连接。