发明名称 |
用于装配有透明板的晶片的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于装配有透明板(28)的晶片(12)的制造方法,所述制造方法具有以下步骤:在晶片(12)中构造至少一列通孔(10),借助机械工具(40,42,50,52,60,62)在晶片表面(14a)中构造至少一个带状凹部(16),其中同一列的通孔(10)中的每一个部分地与相应分配的带状凹部(16)重叠并且在同一列的两个相邻的通孔(10)之间的每一个中间区域(20)中构造有一个不中断的槽(18),所述不中断的槽的底面(18a)以大于0°且小于90°的倾斜角(α)倾斜于所述晶片表面(14a)定向,以及借助由至少一种材料构成的至少一个透明板(28)来覆盖所述至少一个通孔(20),所述至少一种材料至少对于电磁辐射的一部分频谱而言是穿透的。本发明同样涉及一种用于覆盖罩的制造方法、一种晶片(12)和一种覆盖罩。 |
申请公布号 |
CN104925747A |
申请公布日期 |
2015.09.23 |
申请号 |
CN201510235546.X |
申请日期 |
2015.02.15 |
申请人 |
罗伯特·博世有限公司 |
发明人 |
S·安布鲁斯特;D·哈贝雷尔;S·平特;J·托马施科;B·施托伊尔 |
分类号 |
B81C1/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
曾立 |
主权项 |
一种装配有透明板(28)的晶片(12)的制造方法,所述制造方法具有以下步骤:在晶片(12)中构造至少一列通孔(10);借助机械工具(40,42,50,52,60,62)在所述晶片(12)的晶片表面(14a)中构造至少一个带状凹部(16);其中,如此实施所述至少一列通孔(10)的构造和所述至少一个带状凹部(16)的构造,使得同一列的通孔(10)中的每一个部分地与相应分配的带状凹部(16)重叠并且在同一列的两个相邻的通孔(10)之间的每一个中间区域(20)中构造有一个不中断的槽(18),所述不中断的槽的底面(18a)以大于0°且小于90°的倾斜角(α)倾斜于所述晶片表面(14a)定向;借助由至少一种材料构成的至少一个透明板(28)来覆盖所述至少一个通孔(20),所述至少一种材料至少对于电磁辐射的一部分频谱而言是穿透的。 |
地址 |
德国斯图加特 |