一种观察窗结构

摘要

本实用新型属于PVD镀膜设备技术领域，特别涉及一种观察窗结构，它安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。本实用新型的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患，提高了操作的安全性。

主权项

一种观察窗结构，安装于PVD镀膜设备中，其特征在于：包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。