发明名称 非接触式中介层检测方法与装置
摘要
申请公布号 TWI500927 申请公布日期 2015.09.21
申请号 TW102137011 申请日期 2013.10.14
申请人 国立清华大学 发明人 钱睿宏;俞浩;徐瑞祥;林雪如;张世杰
分类号 G01N25/72;H01L21/66 主分类号 G01N25/72
代理机构 代理人 欧奉璋 台北市信义区松山路439号3楼
主权项 一种非接触式中介层检测装置,系包括:一加热器,系对一批待测中介层进行加热作业,将热能传递至该些待测中介层;一影像撷取装置,系与该加热器连接,将依序对应该每一待测中介层之加热之温度分布撷取一热影像,以取得该批待测中介层于加热后所显示之复数个热影像;复数个杂讯滤波器,系与该影像撷取装置连接,用以对该些复数个热影像进行滤波处理,以产生已滤除杂讯之复数个热影像;复数个微分滤波器,系与该些复数个杂讯滤波器连接,用以每二相邻之微分滤波器比较其对应接收之热影像以侦测其间之变动点,藉此撷取在该些复数个热影像中之每两个之一热行为差异来产生一热行为差异影像图,俾以自该些复数个热影像撷取热行为差异而取得复数个热行为差异影像图;以及一比对模组,系与该些复数个微分滤波器连接,用以接收该些复数个热行为差异影像图,其包含一第一比较器及一与该第一比较器连接之第二比较器,该第一比较器比较至少二个热行为差异影像图,根据图中各个热行为差异之分布找出良好之中介层,该第二比较器将该良好之中介层与其他热行为差异影像图比较,以估测每一待测中介层之良率,使得无需额外另找良好之中介层做比较即可完成对一批未知之中介层进行堆叠前测试。
地址 新竹市光复路2段101号