发明名称 薄膜电晶体构造,及具备该构造之薄膜电晶体与显示装置
摘要
申请公布号 TWI501403 申请公布日期 2015.09.21
申请号 TW101114158 申请日期 2012.04.20
申请人 神户制钢所股份有限公司;三星显示器有限公司 发明人 前田刚彰;钉宫敏洋;宋俊昊;李制勋;安秉斗;金建熙
分类号 H01L29/786;G02F1/1368 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种薄膜电晶体构造,系在基板上至少从基板侧开始,依序具备氧化物半导体层、源极和汲极电极、及保护膜之薄膜电晶体构造,其特征为:前述氧化物半导体层,系为第1氧化物半导体层,其由Zn-O制成、或由Zn和选自Al、Ga、Sn所构成之群组中之至少一元素的氧化物所制成,每一氧化物之Zn含有量占金属元素全体的50原子%以上,且形成于源极和汲极电极及保护膜侧;以及第2氧化物半导体层,其包含从In、Ga、及Zn所成之群体当中所选择之至少1种元素,且包含Sn,且形成于基板侧;之层积体,且前述第1氧化物半导体层,系与前述源极和汲极电极及保护膜直接接触。
地址 南韩