发明名称 |
CALODUC ET SON PROCEDE DE FABRICATION |
摘要 |
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un caloduc (130), comportant les étapes suivantes : a) former dans un substrat (100) une ouverture cylindrique (107) munie d'une pluralité de renfoncements annulaires s'étendant radialement autour d'un axe central de l'ouverture (107) ; b) disposer dans les renfoncements des bandes annulaires (115) disjointes en un matériau catalyseur pour la croissance de nanotubes de carbone ; et c) faire croitre des nanotubes de carbone (117) dans l'ouverture (107) à partir desdites bandes annulaires (115). |
申请公布号 |
FR3018631(A1) |
申请公布日期 |
2015.09.18 |
申请号 |
FR20140052010 |
申请日期 |
2014.03.11 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS SA;STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS |
发明人 |
ANCEY PASCAL;GOUSSEAU SIMON;KOKSHAGINA OLGA |
分类号 |
H01L23/427 |
主分类号 |
H01L23/427 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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