发明名称 CALODUC ET SON PROCEDE DE FABRICATION
摘要 L'invention concerne un procédé de fabrication d'un caloduc (130), comportant les étapes suivantes : a) former dans un substrat (100) une ouverture cylindrique (107) munie d'une pluralité de renfoncements annulaires s'étendant radialement autour d'un axe central de l'ouverture (107) ; b) disposer dans les renfoncements des bandes annulaires (115) disjointes en un matériau catalyseur pour la croissance de nanotubes de carbone ; et c) faire croitre des nanotubes de carbone (117) dans l'ouverture (107) à partir desdites bandes annulaires (115).
申请公布号 FR3018631(A1) 申请公布日期 2015.09.18
申请号 FR20140052010 申请日期 2014.03.11
申请人 STMICROELECTRONICS SA;STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS 发明人 ANCEY PASCAL;GOUSSEAU SIMON;KOKSHAGINA OLGA
分类号 H01L23/427 主分类号 H01L23/427
代理机构 代理人
主权项
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