ウェーハの検査、及び／又はウェーハ上に形成されるデバイスの一つ若しくは複数の特性の予測

摘要

ウェーハを検査する、及び／又はウェーハ上に形成されるデバイスの一つ又は複数の特性を予測する方法が提供される。一方法は、ウェーハ上に印刷された複数ダイについての画像を取得することを含み、ダイのそれぞれが、ウェーハ上にダブルパターニング・リソグラフィー・プロセスを実行することにより印刷される方法であって、ダブルパターニング・リソグラフィー・プロセスに向けた重ね合せの公称値で印刷された二つ以上のダイ、及び重ね合せの変動値で印刷された一つ又は複数のダイ;公称値で印刷された複数ダイについて取得した画像を、変動値で印刷された複数ダイ用について取得した画像と比較すること;及び変動値で印刷された複数ダイにおける欠陥を、比較工程の結果に基づいて検出することを含む。