| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Modulieren der Bestrahlungsbedingungen eines Ladungsteilchenstrahls mit hoher Geschwindigkeit und das Detektieren eines Signals in Synchronisation mit einer Modulationsperiode für den Zweck des Extrahieren eines Signals von einem bestimmten Ladungsteilchenstrahl, wenn eine Probe mit mehreren Ladungsteilchenstrahlen gleichzeitig bestrahlt wird, oder zum Beispiel für den Zweck des Trennens der Sekundärelektronensignale aufgrund der Ionenstrahlbestrahlung und der Sekundärelektronensignale aufgrund der Elektronenstrahlbestrahlung in einem FIB-REM-System. Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiter auf das Zerlegen von Licht, das von zwei oder mehr Arten von Szintillatoren mit unterschiedlichen Lichtemissionseigenschaften emittiert wird, das Erfassen der jeweiligen Signalstärke und das Verarbeiten der Signale auf der Grundlage des Verhältnisses der ersten Signalstärke, wenn die Probe mit einem ersten Ladungsteilchenstrahl allein bestrahlt wird, zu der zweiten Signalstärke, wenn die Probe mit dem zweiten Ladungsteilchenstrahl allein bestrahlt wird, wobei das Verhältnis mit einem Mechanismus eingestellt wird. Die vorliegende Erfindung ermöglicht das Extrahieren nur eines Signals aufgrund eines gewünschten Ladungsteilchenstrahls, auch wenn die Probe mit mehreren Ladungsteilchenstrahlen gleichzeitig bestrahlt wird. Die REM-Beobachtung kann zum Beispiel mitten während der FIB-Bearbeitung mit den Sekundärelektronen in dem FIB-REM-System durchgeführt werden.</p> |
