发明名称 带有激励力反转的微机电陀螺仪和激励微机电陀螺仪的方法
摘要 本发明涉及了一种带有激励力反转的微机电陀螺仪和激励微机电陀螺仪的方法。公开了一种微机电陀螺仪,包括:主体(6)和驱动质量块(7),所述驱动质量块(7)根据驱动轴(X)相对于主体(6)可移动,并且电容性耦合到所述主体(6)。该陀螺仪还包括驱动设备(3),其与所述主体(6)和所述驱动质量块(7)一起形成微机电控制回路(18),并设置成向所述驱动质量块(7)提供具有共模分量(V<sub>CM</sub>)和相应差分分量的驱动信号(V<sub>D1</sub>,V<sub>D2</sub>),使得维持所述驱动质量块(7)根据所述驱动轴(X)的振荡。向所述驱动设备(3)提供激励级(23),其设置成以可控的方式反转所述驱动信号(V<sub>D1</sub>,V<sub>D2</sub>)的差分分量的符号。
申请公布号 CN102230800B 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201110085692.0 申请日期 2011.02.16
申请人 意法半导体股份有限公司 发明人 C·卡米纳达;L·普兰迪;A·M·里佐皮雅扎罗恩科罗尼
分类号 G01C19/5726(2012.01)I;G01C19/5762(2012.01)I 主分类号 G01C19/5726(2012.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 王茂华
主权项 一种微机电陀螺仪,包括:主体(6);驱动质量块(7),其根据驱动轴(X)以第一自由度相对于主体(6)可移动,并且通过电容性耦合(10)来耦合到所述主体(6);感应质量块(8),其机械地耦合至所述驱动质量块(7),从而被带入根据驱动轴(X)的运动中,并且根据感应轴(Y)以第二自由度相对于所述驱动质量块(7)可移动,以响应于所述主体(6)的旋转;读取发生器(4),其设置成向所述感应质量块(8)提供方波读取信号(V<sub>R</sub>);以及读取设备(5),其设置成响应于所述读取信号(V<sub>R</sub>),提供指示所述感应质量块(8)的位置的输出信号(S<sub>OUT</sub>);驱动设备(3),其与所述主体(6)和所述驱动质量块(7)一起形成微机电控制回路(18),并配置向所述驱动质量块(7)提供具有共模分量(V<sub>CM</sub>)和相应差分分量的驱动信号(V<sub>D1</sub>,V<sub>D2</sub>),使得维持所述驱动质量块(7)根据所述驱动轴(X)以驱动频率(ω<sub>D</sub>)振荡;以及所述驱动设备(3)包括激励级(23),所述激励级(23)配置成可控地反转所述驱动信号(V<sub>D1</sub>,V<sub>D2</sub>)的差分分量的符号;其特征在于,所述激励级(23)设置成,与所述读取信号(V<sub>R</sub>)的第一沿(t<sub>2</sub>)同时反转所述驱动信号(V<sub>D1</sub>,V<sub>D2</sub>)的差分分量的符号。
地址 意大利阿格拉布里安扎