| 发明名称 | 高表面电阻率静电吸盘 | ||
| 摘要 | 根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方10<sup>11</sup>欧姆之一表面电阻率。 | ||
| 申请公布号 | CN102986017B | 申请公布日期 | 2015.09.16 |
| 申请号 | CN201180026596.7 | 申请日期 | 2011.05.24 |
| 申请人 | 恩特格林斯公司;维瑞安半导体设备联合公司 | 发明人 | 理查德·A·库克;戴尔·K·史东;卢德米拉·史东;朱立安·布雷克;大卫·苏罗纳 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I;B23Q3/15(2006.01)I;C04B35/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;安利霞 |
| 主权项 | 一种静电吸盘，其包含：一电极；及一表面层，其由该电极中的一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括：(i)介电层；(ii)一电荷控制层，该电荷控制层包含聚合物，该电荷控制层包含自1×10<sup>12</sup>欧姆/平方至1×10<sup>16</sup>欧姆/平方的一表面电阻率，其中该电荷控制层中的聚合物包含聚醚酰亚胺(PEI)、聚酰亚胺及聚醚醚酮(PEEK)中的至少一者；(iii)多个聚合物突起，该多个聚合物突起延伸至在该电荷控制层的包围该多个聚合物突起的部分上方的一高度以在该基板的静电夹持期间在该多个聚合物突起上支撑该基板。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||