一种金刚石膜热导率检测方法

摘要

一种金刚石膜热导率检测方法，按照下述步骤进行：a、取待检测金刚石膜片；b、将待检测的金刚石膜片在激光切割机上切取样条；c、将样条进行三点抗弯强度检测，求得样条三点抗弯断裂强度R_f值；d、由公式λ=R_f/A计算出所述金刚石膜片的热导率λ；公式中A为与所述金刚石膜片的制膜工艺相对应的强度-热导换算比例系数，该比例系数预先经试验得出。本发明利用金刚石膜的三点抗弯断裂强度R_f来快速估算金刚石膜的热导率λ，对测试环境条件要求宽松，检测误差低。采用本发明方法，生产厂家可以对所生产金刚石膜产品快速、低成本的给出热导率λ值，为调整生产工艺提供重要的参考数据，为用户提供产品的热导率参数值。

主权项

一种金刚石膜热导率检测方法，其特征在于：所述检测方法按照下述步骤进行：a、取待检测金刚石膜片；b、将待检测的金刚石膜片在激光切割机上切取条状，称为样条；c、将样条沿长度方向的两端分别支撑在支点上，将压力施加在样条的中分线上，缓慢施加压力，至样条断裂，记录此时的压力数值；同时，记录实验时的样条跨距L 、样条宽度b、样条厚度h、载荷P，而后代入三点抗弯强度计算公式：R_f=3·p·L/（2b· h² ），求得样条三点抗弯断裂强度R_f值，其中载荷P 的单位是N，样条跨距L 、样条宽度b、样条厚度h的单位是mm，R_f单位是MPa；d、由公式λ= R_f/ A计算出所述金刚石膜片的热导率λ；公式中R_f的单位为MPa ；A为与所述金刚石膜片的制膜工艺相对应的强度‑热导换算比例系数，单位为MPa·cm·K·W^‑1，λ为被检测金刚石膜片的热导率，单位为W/ cm·K。