一种单片式平面电极电导率传感器

摘要

一种单片式平面电极电导率传感器，由基板、矩形螺旋线圈电极、矩形叉指电极、过孔、背面引线、绝缘区、馈电接口、背面馈电接口、表层金属层、底层金属层构成；矩形螺旋线圈电极和矩形叉指电极紧密贴附于基板上，矩形叉指电极在基板中心，矩形螺旋线圈电极从矩形叉指电极一端口朝外引出，逆时针方向由内而外螺旋延伸，连接到馈电接口，并将矩形叉指电极包裹在内；过孔位于矩形叉指电极的右下角端口，在基板背面过孔通过背面引线与背面馈电接口连接，背面引线与矩形螺旋形线圈连接到馈电接口的馈线平行；绝缘区位于基板下端正反两面的引线区。本发明具有小型化，工艺简单，低成本，可靠性好等优点，适合工业化生产。

主权项

一种单片式平面电极电导率传感器，其特征是由基板(1)、矩形螺旋线圈电极(2)、矩形叉指电极(3)、过孔(4)、背面引线(5)、绝缘区(6)、馈电接口(7)、背面馈电接口(8)、表层金属层(9)、底层金属层(10)构成；矩形螺旋线圈电极(2)和矩形叉指电极(3)紧密贴附于基板(1)上，矩形叉指电极(3)在基板(1)中心，矩形螺旋线圈电极(2)从矩形叉指电极(3)一端口朝外引出，逆时针方向由内而外螺旋延伸，连接到馈电接口(7)，并将矩形叉指电极(3)包裹在内；过孔(4)位于矩形叉指电极(3)的右下角端口，在基板(1)背面过孔(4)通过背面引线(5)与背面馈电接口(8)连接，背面引线(5)与矩形螺旋形线圈(2)连接到馈电接口(7)的馈线平行；绝缘区(6)位于基板(1)下端正反两面的引线区。