| 摘要 |
<p>AMOLED 표시장치 제조를 위해 한 기판에 소자 및 도전선 형성 후 유기박막 설치 전에 이 기판의 회로적 이상을 전기적인 방법으로 검사하고 리페어하기 위한 기판 검사 및 리페어 방법에 있어서, 기판 단자에 전기 접속하기 위한 다수의 프로브를 가지는 전체검사장치에서 기판과 전기적인 신호를 주고 받음에 의해 기판 전체에 대한 이상 유무를 검사하고 이상 부분에 대한 위치 정보를 파악하는 기판 전체검사단계, 이상이 발견된 기판과 이상 부분에 대한 위치 정보를, 리페어 유닛과 검사유닛을 가지며 전체검사장치에 비해 상대적으로 소수의 프로브를 가지는 리페어-부분검사장치로 보내는 기판 이송단계, 리페어-부분검사장치에서 위치 정보를 바탕으로 리페어 유닛으로 리페어를 실시하는 기판 리페어단계, 리페어-부분검사 장치에서 위치 정보를 바탕으로 검사유닛이 이동하여 이상 부분에 전기적 신호를 주고 받아 이상 부분의 치유 여부를 확인하는 기판 부분검사단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 및 리페어 방법과 이에 적합한 시스템이 개시된다. 본 발명에 따르면, 전체 기판검사장치는 상대적으로 다수 프로브를 가져 전체 기판에 대해 빠르게 검사를 진행할 수 있고, 리페어 -기판 부분검사장치에서는 이상 부분 정보를 가지고 해당 부분만 리페어 및 리페어 확인용의 부분검사를 할 수 있으므로 효율적인 리페어 및 재검사가 이루어질 수 있다.</p> |
