| 发明名称 |
具有夹盘组件之极紫外线微影系统及其制造方法;EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY SYSTEM HAVING CHUCK ASSEMBLY AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF |
| 摘要 |
提供一种EUV微影系统及其制造方法，该EUV微影系统包括：EUV光源；夹盘，其为热传导及平滑的且具有预定夹盘平坦度之表面；及反射镜系统，其用于在夹盘表面上方引导来自EUV光源的EUV光线。; a chuck being thermally conducting and smooth having a surface with a predetermined chuck flatness; and a reflective lens system for directing EUV light from the EUV light source over the surface of the chuck. |
| 申请公布号 |
TW201535472 |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
| 申请号 |
TW103144550 |
申请日期 |
2014.12.19 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
福德马吉德Ａ FOAD, MAJEED A. |
| 分类号 |
H01L21/027(2006.01);H01L21/683(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
