用于进阶图案化之软着陆奈米层;SOFT LANDING NANOLAMINATES FOR ADVANCED PATTERNING

摘要

提供方法，用于在核心层上沉积奈米层叠保护层，而允许在该核心层上沉积高品质保形膜，以用于先进多重图案化方案。在若干实施例中，该等方法包含以低的高频射频（HFRF）电浆功率使用基于电浆的原子层沉积技术沉积薄的矽氧化物或钛氧化物膜，接着以高HFRF电浆功率，沉积保形钛氧化物膜或间隔部。