一种基于波前校正器的激光束三维整形系统

摘要

本发明公开了一种基于波前校正器的激光束三维整形系统，包括激光器系统、光束匹配系统、波前探测与校正系统、应用系统、监控系统与计算机控制系统；利用波前探测器探测系统像差，利用远场相机沿光轴的位置及采集的远场光斑形态分布图像，通过控制计算机计算波前校正器驱动器电压，在远场相机处实现激光束三维整形；利用应用系统与监控系统的共轭关系，在远场相机处实现激光束三维整形时，在应用系统中也同步实现激光束三维整形；在波前校正器行程及校正精度范围内，该装置可实现沿光轴任意位置的激光束整形。本发明不仅能应用于对激光束形状与能量分布有要求的场合，也能应用于对激光束沿光轴方向有特定要求的场合，扩大激光束整形技术的应用范围。

主权项

一种基于波前校正器的激光束三维整形系统，其特征在于：包括激光器系统、光束匹配系统、波前探测与校正系统、应用系统、监控系统和计算机控制系统，其中：所述的激光器系统，由激光器(1)与准直镜(2)组成，对激光器(1)输出光束准直；所述的光束匹配系统，由光束匹配系统的第一透镜(7)与光束匹配系统的第二透镜(8)组成，使波前校正器(3)输出激光束与波前探测器(10)输入激光束孔径匹配；所述的波前探测与校正系统，由波前校正器(3)、分光镜(9)与波前探测器(10)组成，实现波前像差探测与激光束近场相位控制；所述的应用系统，由分光镜(4)、聚焦透镜(5)与工作台(6)组成，聚焦透镜(5)输出整形后的激光束，并作用于工作台(6)上的应用对象；所述的监控系统，由聚焦透镜(11)与远场相机(12)组成，远场相机(12)监控聚焦透镜(11)输出激光束远场光斑分布；所述的计算机控制系统，由移动导轨(13)、高压放大器(14)与控制计算机(15)组成，控制计算机(15)通过移动导轨(13)控制远场相机(12)沿光轴的位置，通过波前探测器(10)探测系统像差，通过高压放大器(14)控制波前校正器(3)驱动器电压，通过工作台(6)调整工作对象位置。