基板匣、基板保管装置及基板处理系统

摘要

基板匣(CTR)，具备：收容部(1)、搬出口(3)、搬入口(2)、导引部(4)。收容部(1)收容带状的基板(FB)。搬出口(3)及搬入口(2)是设于收容部(1)且供基板(FB)通过。导引部(4)将基板(FB)从搬入口(2)导引至搬出口(3)。导引部(4)包含可动导引板(45)及移动滚筒(47,48)。移动滚筒(47,48)包含伸缩部(52b)。首先，可动导引板(45)被保持水平且伸缩部(52b)收缩。基板(FB)的前端部支承在导引板(45)上。当使用搬入滚筒(23)送入基板(FB)时，导引板(45)旋动成垂直姿势。随着基板(FB)搬入，伸缩部(52b)逐渐延伸。基板匣(CTR)是连接于基板处理装置(FPA)。

主权项

一种基板匣，其可将形成为带状的挠性的片状基板以于带状的长边方向折返多次的方式收容，具备：收容部，其具有多个壁面，且对该片状基板以折返的状态收容；搬入口，其设于该收容部的一个壁面，用以将该片状基板于该长边方向搬入；搬出口，其设于该收容部的一个壁面，用以将该片状基板于该长边方向搬出；多个第一导引构件，它们设于该收容部内，并隔着间隔配置，用以保持该片状基板的表面侧；多个第二导引构件，它们设于该收容部内，并隔着间隔配置，用以保持该片状基板的背面侧；以及第三导引构件，其设于该片状基板的导引路径的一部分，用以将从该搬入口搬入的该片状基板的前端部，通过该第一导引构件与该第二导引构件之间往该搬出口进行导引。