发明名称 抛光垫
摘要 本发明目的在于提供一种抛光垫,其具有具备3相分离结构的抛光层,抛光速度大,平坦化特性优异,且能够抑制划痕的产生。本发明的抛光垫具有抛光层,所述抛光层由聚氨酯原料组合物的反应固化体形成,所述聚氨酯原料组合物含有:异氰酸酯封端预聚物(A),其由异氰酸酯成分及含有聚酯类多元醇的预聚物原料组合物(a)反应而得到;异氰酸酯封端预聚物(B),其由异氰酸酯成分及含有聚醚类多元醇的预聚物原料组合物(b)反应而得到;及增链剂,所述聚醚类多元醇包括数均分子量1000以下的聚醚类多元醇(C)及数均分子量1900以上的聚醚类多元醇(D),所述反应固化体具有3相分离结构。
申请公布号 CN104918750A 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201480004696.3 申请日期 2014.01.17
申请人 东洋橡胶工业株式会社 发明人 清水绅司
分类号 B24B37/24(2006.01)I;C08G18/10(2006.01)I;C08J5/14(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 B24B37/24(2006.01)I
代理机构 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人 侯婧;钟守期
主权项 一种抛光垫,其特征在于,抛光垫具有抛光层,其中,所述抛光层由聚氨酯原料组合物的反应固化体形成,所述聚氨酯原料组合物含有:异氰酸酯封端预聚物(A),其由异氰酸酯成分及含有聚酯类多元醇的预聚物原料组合物(a)反应而得到;异氰酸酯封端预聚物(B),其由异氰酸酯成分及含有聚醚类多元醇的预聚物原料组合物(b)反应而得到;及增链剂,所述聚醚类多元醇包括数均分子量1000以下的聚醚类多元醇(C)及数均分子量1900以上的聚醚类多元醇(D),所述反应固化体具有3相分离结构。
地址 日本大阪府大阪市