一种多组份痕量气体浓度测量装置

摘要

本发明公开了一种多组份痕量气体浓度测量装置，属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括第一半导体激光器、第二半导体激光器、第一折转镜、分束镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振腔、光电探测器和数据处理模块，其中，第一半导体激光器发射的光束经光纤传输至分束镜，经分束镜透射，第二半导体激光器发射的光束经光纤传输至第一折转镜，经分束镜反射，透射光和反射光依次经准直隔离器、模式匹配镜和反射谐振腔后入射到光电探测器并转换成电信号传输至数据处理模块进行分析。该装置成本低，便于光路保持、测量误差小。

主权项

多组份痕量气体浓度测量装置，包括第一半导体激光器(101)、第二半导体激光器(102)、准直隔离器(4)、模式匹配镜(5)、反射谐振腔(6)、光电探测器(8)和数据处理模块(9)；其特征在于，还包括分束镜(2)和第一折转镜(3)；所述第一半导体激光器(101)和第二半导体激光器(102)分别工作在nλ₀、nλ₀/2或者nλ₀/4覆盖的反射率在0.9999以上的波长范围内，n为反射谐振腔(6)内多层膜反射镜(602)的等效折射率，λ₀为反射谐振腔(6)内多层膜反射镜(602)的中心波长；所述装置的光路走向为：第一半导体激光器(101)发射的光束经光纤传输至分束镜(2)，经分束镜(2)透射，第二半导体激光器(102)发射的光束经光纤传输至第一折转镜(3)，经第一折转镜(3)折转后，入射分束镜(2)并经分束镜(2)反射，分束镜(2)输出的反射光和透射光依次经准直隔离器(4)、模式匹配镜(5)和反射谐振腔(6)后入射光电探测器(8)，光电探测器(8)将接收的光信号转换成电信号并传输至数据处理模块(9)，数据处理模块(9)对接收的电信号进行分析。