| 摘要 |
<p>기판 턴장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 턴장치는, 상호간 이격 배치되어 기판을 이송하는 다수의 롤러 컨베이어 유닛; 다수의 롤러 컨베이어 유닛을 지지하며, 다수의 롤러 컨베이어 유닛과 함께 턴(turn) 동작되는 턴 상판 어셈블리(turn upper assembly); 및 턴 상판 어셈블리의 하부 영역에 배치되어 턴 상판 어셈블리를 회전 가능하게 지지하는 턴 하판 어셈블리(turn lower assembly)를 포함한다.</p> |
