分光器、及分光器之制造方法

摘要

本发明之分光器1A具备：光检测元件20，其具有包含半导体材料之基板24、设置于基板24之光通过部21、及嵌入至基板24之光检测部22；支持体30，其具有与光检测元件20对向之底壁部31、及与底壁部31一体地形成且固定有光检测元件20之侧壁部32、33，且设置有电性连接于光检测部22之配线13；以及分光部40，其设置于底壁部31之空间S侧之表面31a。配线13之端部13a连接于光检测元件20之端子25。配线13之端部13b位于底壁部31之与空间S侧为相反侧之表面31b。