光子装置结构及制造方法

主权项

一种形成一光子结构之方法，其包括：蚀刻一半导体基板以在该半导体基板之一凸缘部分下方产生一腔；及自该半导体基板之该凸缘部分形成一光子装置之一元件，其中该光子装置元件包括一波导核心；其中该形成该光子结构之方法进一步包括：用一包层材料填充该腔；及其中该腔具有一大致矩形的截面形状。