发明名称 晶片封装体及其形成方法
摘要
申请公布号 TWI500155 申请公布日期 2015.09.11
申请号 TW100145026 申请日期 2011.12.07
申请人 精材科技股份有限公司 发明人 张恕铭;陈键辉;刘建宏;姚皓然;温英男
分类号 H01L29/78;H01L23/48;H01L21/50 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种晶片封装体,包括:一半导体基底,具有一第一表面及相反之一第二表面;一汲极区,位于该半导体基底中;一源极区,位于该半导体基底中;一闸极,位于该半导体基底之上或至少部分埋于该半导体基底之中,其中该闸极与该半导体基底之间隔有一闸极介电层;一汲极导电结构,设置于该半导体基底之该第一表面上,且电性连接该汲极区;一源极导电结构,设置于该半导体基底之该第二表面上,且电性连接该源极区;以及一闸极导电结构,设置于该半导体基底之该第一表面上,且电性连接该闸极。
地址 桃园市中坜区中坜工业区吉林路23号9楼