| 摘要 |
<p>Ein aus einem Formharz geformter thermischer Sensor mit einer Öffnung weist das Problem auf, dass die Restspannung des Formharzes in der Öffnung zu einem Ablösen an der Schnittstelle mit geringer Haftung führt. Ein Sensor für physikalische Größen weist einen Aufbau auf, der einen Halbleiterchip mit einer Messeinheit 3, einen Rahmen 8a, auf dem der Halbleiterchip montiert ist, einen Formharzabschnitt 10, der den Halbleiterchip und den Rahmen verkapselt und eine Öffnung aufweist, durch welche die Messeinheit nach außen freigelegt ist, und eine spannungsabsorbierende Schicht 6, die zwischen einem Ende der Öffnung im Formharzabschnitt und einer in der Messeinheit ausgeformten Verdrahtungsschicht ausgeformt ist und ein Metallmaterial enthält, das eine Spannung vom Ende absorbiert, umfasst.</p> |
