EXPOSURE APPARATUS AND METHOD TO COMPRESS EXPOSURE DATA

摘要

본 발명은 노광 데이터를 재정렬하여 새로운 노광 데이터를 생성하고, 생성된 새로운 노광 데이터를 압축하는 노광 장치의 구성과 방법으로 노광 데이터의 압축 효율을 향상시켜 실시간으로 노광을 수행할 수 있다.