Plattenformobjekt-Bearbeitungsverfahren

摘要

Ein Plattenformobjekt-Bearbeitungsverfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Objekts, das ein Substrat und eine an einer vorderen Oberfläche des Substrats ausgebildete Schichtstruktur beinhaltet, beinhaltet einen Substratfreilegeschritt zum Freilegen des Substrats durch Entfernen der Schichtstruktur, indem ein Bereich, in dem die Schichtstruktur des plattenförmigen Objekts entfernt werden soll, mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, der auf eine Energiedichte eingestellt ist, welche die Schichtstruktur aber nicht das Substrat zerstört.