集積化容量性トランスインピーダンス増幅器

摘要

集積化容量性検出器を有する分光計を開示する。集積化容量性検出器は、コレクタ（２２０）からのイオン電流を、変化する電圧に積分する。検出器は、分光計中のイオンを受けるように構成されたコレクタと、誘電体（２２８）と、コレクタ側とは反対の誘電体の側でコレクタと重なるように配置されたプレート（２３２）とを有する。検出器は増幅器（２２６）をも有する。