用于制造多层电极系统的方法和装置

摘要

本发明涉及一种多层电极系统以及一种用于制造多层电极系统（300）的方法。该方法包括：提供载体衬底（100）的步骤，所述载体衬底具有在所述载体衬底（100）的上侧（102）中的凹陷（104），其中凹陷（104）的至少一个壁被构造为相对于载体衬底（100）的与上侧（102）相对的下侧倾斜；以及将多层堆叠施加到载体衬底（100）的上侧（102）上的步骤，所述多层堆叠至少具有第一电极层、第二电极层、以及布置在第一电极层与第二电极层之间的压电体层，其中凹陷（104）的所述至少一个壁和底部被多层堆叠的至少一个片段覆盖，以便形成多层电极系统（300）。

主权项

一种用于制造多层电极系统（300）的方法（900），其中该方法（900）具有下列步骤：提供（904）载体衬底（100），所述载体衬底具有在所述载体衬底（100）的上侧（102）中的凹陷（104），其中所述凹陷（104）的至少一个壁（106）被构造为相对于所述载体衬底（100）的与所述上侧（102）相对的下侧（200）倾斜；以及将多层堆叠（302）施加（906）到所述载体衬底（100）的上侧（102）上，所述多层堆叠至少具有第一电极层（304）、第二电极层（306）、以及布置在所述第一电极层（304）与所述第二电极层（306）之间的压电体层（308），其中所述凹陷（104）的所述至少一个壁（106）和底部（108）通过所述多层堆叠（302）的至少一个片段来覆盖，以便形成所述多层电极系统（300）。