钌络合物及其制造方法以及含钌薄膜的制作方法

摘要

本发明提供一种通式(1a)、(2)、(3)等所示的钌络合物及该钌络合物的制造方法，其无论在使用氧化性气体作为反应气体的条件下还是在使用还原性气体作为反应气体的条件下均可用于制作含钌薄膜。(式中，R^1a～R^7a、R⁸～R⁹、R¹⁰～R¹⁸表示碳原子数1～6的烷基。n表示0～2的整数)。

主权项

一种钌络合物，其由通式(A)表示，式中，T表示CR^A或氮原子，U表示氧原子或CH，R^A、R^B、R^C、R^D、R^E、R^F、R^G、R^H及R^I各自独立地表示氢原子或碳原子数1～6的烷基，m表示0、1或3的任一整数，五齿二烯基配位体β在m为1或3时具有环状结构，在m为0时具有非环状结构，其中，m为0时，T为CR^A，U为氧原子，R^F及R^G为碳原子数1～6的烷基，R^H及R^I为氢原子，但不包括R^A、R^B、R^C、R^D及R^E全部同时为甲基的情况；m为1时，T为CR^A，U为CH，R^I为碳原子数1～6的烷基，但在R^F、R^G及R^H全部同时为氢原子时，不包括R^A、R^B、R^C、R^D、R^E及R^I全部同时为甲基的情况；m为3时，T为氮原子，U为CH，R^B及R^C为碳原子数1～6的烷基，R^D、R^E、R^F及R^G为氢原子，R^H及R^I为氢原子或甲基。