一种压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵

摘要

本发明涉及一种压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵，包括：由基座（1）、压电悬臂梁（2）组成的动力端和由腔体、出入口管及两结构间布置的单向阀组成的液力端（3）；其中压电悬臂梁（2）一端与基座（1）连接，另一端与液力端（3）的第一侧腔体（31）连接，基座（1）上的支撑臂与液力端（3）的第二侧腔体（32）连接；特点在于：所述基座（1）上的各支撑臂和压电悬臂梁（2）中心线相互平行，所述动力端可以与液力端（3）组装与拆卸；所述压电悬臂梁（2）与支撑臂交错布置，即在第一侧腔体（31）和第二侧腔体（32）结合面上投影无重合区，构成液力端（3）可更换、压缩比大、且工作过程中压电悬臂梁（2）受冲击小的压电隔膜泵装置。

主权项

一种压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵，包括：由基座(1)、压电悬臂梁(2)构成的动力端和液力端(3)，其中压电悬臂梁(2)一端与基座(1)连接，另一端与液力端(3)的第一侧腔体(31)连接，基座(1)上的支撑臂与液力端(3)的第二侧腔体(32)连接；液力端(3)由橡胶材料构成的片状第一侧腔体(31)和第二侧腔体(32)内侧表面相对布置，边缘密封形成泵腔，由压电悬臂梁(2)带动第一侧腔体(31)弯曲实现所述泵腔的体积发生改变，结合第二侧腔体(32)上安装的进口单向阀(34)和出口单向阀(35)，实现流体从入口管(36)流入、出口管(37)流出的运动；其特征在于：所述基座(1)上的各支撑臂和压电悬臂梁(2)中心线相互平行，所述动力端可以与液力端(3)组装与拆卸；所述压电悬臂梁(2)与所述支撑臂交错布置，即在第一侧腔体(31)和第二侧腔体(32)结合面上的投影无重合区域。