发明名称 |
切削装置 |
摘要 |
本发明提供切削装置,能够适当地检测出切削中的异常。所述切削装置具备:振动信号产生构件(68),其产生与切削刀具(60)的振动对应的振动信号;以及控制构件(78),其根据由振动信号产生构件产生的振动信号来判定切削刀具的状态,振动信号产生构件由以下部分构成:超声波振子(70),其配设在第1凸缘部件(46)上,产生与对应于切削刀具的振动的振动信号相当的电压;以及传送构件(72),其与超声波振子连接,将电压传送至控制构件,在第1凸缘部件上配设有与构成传送构件的第1线圈构件(74)并联连接的谐振频率不同的多个超声波振子(70a、70b、70c)。 |
申请公布号 |
CN104889868A |
申请公布日期 |
2015.09.09 |
申请号 |
CN201510090442.4 |
申请日期 |
2015.02.28 |
申请人 |
株式会社迪思科 |
发明人 |
久保雅裕;中西优尔;和泉邦治 |
分类号 |
B24B27/06(2006.01)I;B24B49/00(2012.01)I;B24B51/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
B24B27/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;黄纶伟 |
主权项 |
一种切削装置,其包括:卡盘工作台,其保持被加工物;以及切削构件,其具备切削刀具,该切削刀具对保持于该卡盘工作台的被加工物进行切削,该切削构件具备:主轴,其以能够旋转的方式支承于主轴外壳;以及第1凸缘部件和第2凸缘部件,它们安装于该主轴的端部,并夹持该切削刀具,所述切削装置的特征在于,所述切削装置具备:振动信号产生构件,其产生与该切削刀具的振动对应的振动信号;以及控制构件,其根据由该振动信号产生构件产生的振动信号来判定该切削刀具的状态,该振动信号产生构件由以下部分构成:超声波振子,其配设在该第1凸缘部件上,产生与对应于该切削刀具的振动的该振动信号相当的电压;以及传送构件,其与该超声波振子连接,将该电压传送至该控制构件,该传送构件包括:第1线圈构件,其安装于该第1凸缘部件;以及第2线圈构件,其与该第1线圈构件隔开间隔地对置,并配设在该主轴外壳上,在该第1凸缘部件上配设有与该第1线圈构件并联连接的谐振频率不同的多个该超声波振子。 |
地址 |
日本东京都 |